涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。
涡旋真空泵
液体在叶片进口冲角很大时，液体脱离叶片形成旋涡，这种旋涡的矢量方向与叶片的进口边是平行的，即与叶轮径向方向平行，称为径向旋涡。径向旋涡随时间而增大，周期性的脱离叶片被液流带走，如果被带入流道内，则起着传递能量的作用，如果带入叶轮内，则不起任何补充传递能量的作用。旋涡泵工作时产生纵向和径向旋涡是同时作用的，哪一种旋涡占优取决于叶轮和流道几何尺寸的比例及形状。
纵向旋涡的强弱，与流道内液体的流速有关，与流量有关。随着流量的增加，纵向旋涡减弱，流量趋近于零时，离心力相差大，纵向旋涡强，扬程越高。
涡旋真空泵的真空泵度不够怎么办？
原因：电机供电不足导致转速不够；供水量不足；叶轮与分配板之间的间隙过大；机械密封破损导致漏水漏气；叶轮磨损过多；循环水排不出。
排除方法：检查供电电压是否在电机额定的电压范围内；加大供水量（必须控制在正确的范围内，否则会导致电机超载发热）；调小叶轮与分配板的间隙（一般在0.15—0.20mm）；更换机械密封；更换叶轮；检查出水口的管路。
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